數(shù)據(jù)可靠
系統(tǒng)實現(xiàn)了自動遠距離采樣、自動富集吸收、自動質量控制、自動分析、數(shù)據(jù)自動上傳全流程自動化。
避免人工誤差引入，數(shù)據(jù)準確可靠。
靈敏度高
大體積進樣濃縮，大幅提高系統(tǒng)檢測能力，檢出限可達亞ppt級，縮短系統(tǒng)運行周期。
監(jiān)測面廣
單套系統(tǒng)最多可配置32個點位的樣品采集；
系統(tǒng)通過真空泵遠距離采樣，可覆蓋300m范圍內(nèi)樣品的在線監(jiān)測。
設計合規(guī)
系統(tǒng)管路及閥組采用潔凈的聚四氟乙烯材料設計，滿足SEMI F57中相關析出雜質的控制要求。
吸收高效
在線雙吸收模塊設計，有利于節(jié)約樣品分析時間，數(shù)據(jù)輸出更快更高效！
